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東芝とSanDisK、四日市のNAND型フラッシュメモリ製造新工場で量産を開始

東芝とSanDisK、四日市のNAND型フラッシュメモリ製造新工場で量産を開始 

 東芝とSanDiskは7月12日、三重県の東芝四日市工場にてNAND型フラッシュメモリ新製造棟(第五製造棟)の竣工式を行ったことを発表した。

 同製造棟の概要は、鉄骨造5階建(CR2層)で、建屋面積が約3万8000m2、延べ床面積が約18万7000m2となっており、2010年7月から東芝が建屋建設を開始、東芝とSanDisk両社にて生産設備の導入を進めてきた。すでに7月よりNAND型フラッシュメモリの量産を開始しており、8月から出荷を開始する予定。今後は市場動向に応じて追加投資を行い、能力を拡充していくとしている。

 採用プロセスは、当初24nmプロセスを採用し、今後順次、19nmなどの次世代プロセスへと移行する予定としている。また、既存の第3棟、第4棟と新棟を結ぶ棟間搬送システムを導入することで、効率的な生産体制を構築するほか、LED照明や省エネ製造設備の導入などを図ることで、CO2の排出量を第4製造棟に比べて12%削減することが可能になっているという。

 なお、新棟向け設備投資のうち、建物の建設投資は東芝が行い、内蔵設備の投資は両社出資により、2010年9月に設立した合弁会社・フラッシュフォワード(東芝50.1%、SanDisk49.9%出資)が担当している。

 第五製造棟の外観(左)と、東芝四日市工場の全景(右)。一番上の建物が第五製造棟

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